热式气体质量流量计的传感器部分由二个精细铂热电阻组成。该电阻封装在不锈钢管内，与流体介质不直接接触，但有杰出的传热性能。其间一根较短的为介质温度传感元件；另一根为加热元件。当气体流过加热元件时。将热量带走。带走的的热量与流体的流速和流体的密度成正比。

    流量计由两个温度传感器组成。一定量的加热功率P施加至其间一个传感器上。使其温度升高至被测值T2.另一个传感器丈量气体温度T1.依据被加热器传感器和气体的温差（△T2T1）和所加热功率P就可以确定气体的质量流量。

    这被称为金氏规律。K1和K2取决于传感器的几何尺度和气体特性，如热导率、粘度和比热容。K3与雷诺数有关。

    这些系数的数值是流量计和气体所有的，因而ITMF流量计有必要依据所要丈量的气体进行校准。在实践应用中，丈量气体质量流量的方法有两种：稳定功率法或稳定温差法。

    为了保持Ts与Ta之间固定的温差，电路有必要向加热元件供给更多的功率。电路中输出功率的大小，直接与流体的质量流量有关，经过丈量电路的输出功率可得到对应的质量流量。因为加热元件上的热量主要是由气体分子活动带走的，而不是热传导的效果。所以这种流量计在一定工况范围内简直与流体的成份无关。