质量气体流量计的基本原理是吸收热量的速度与质量流量直接相关，其传感器由两个基准电阻值（PixelRTD）组成。一种是T1质量速度传感器，一种是T2温度传感器，能够丈量气体的温度改变。将两个RTD放入被测气体中，其中T1传感器被加热到气体温度上一个恒温差。

    T2传感器则用来感应被测气体的温度。当气体质量流速添加，气流带走更多热量时，T1传感器的温度下降，为了坚持T1、T2恒定的温差，需求添加T1传感器的加热功率。基于金氏定律的热效应。

    当运动的气体分子撞击热电阻时，它会吸走热量，跟着流量的添加，触摸热电阻的分子也会添加，这种吸热进程与气体的分子数、热学特性和活动特性有关。HQRS气体质量流量计的应用压缩机空气流量及分配。进程气体，例如二氧化碳，氩气，氮，氧的流量及其散布。