热式质量流量计包括两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度改变。外表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和丈量工况温度的传感器之间形成稳定温差。当保持温差不变时，电加热耗费的能量，也可以说热散失值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定份额多组份气体的丈量。

    科里奥利式流量计其原理是运用流体在振管内活动时产生的科氏力，以直接或间接当地法丈量其力而得到流体质量流量。质量流量计常见问题实践运用中发现，当输入的气体不同时操控显示的数值与实践不符，其实原因很简略，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF,即气体转化系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M.N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。

    现在，国内运用最为广泛的是热式气体质量流量计。其原理如下："在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其操控在同一温度。当流体活动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。